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水處理設(shè)備在進(jìn)行水處理的時(shí)候是可以很好的去除水中的一些雜質(zhì)的,只不過(guò)很多人并不知道水處理設(shè)備到底可以去除水中的哪些雜質(zhì)。
溶解的無(wú)機(jī)鹽:有鈉、鈣、鎂等鹽類,溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí),會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面,造成短路。過(guò)去除去水中無(wú)機(jī)鹽是將水蒸餾,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐—厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl。近有用反滲透法去離子。
所以要用離子交換樹(shù)脂。陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分別使用,易于再生,混合床離子交換樹(shù)脂用在離子交換的終級(jí),起把關(guān)的作用。這樣出來(lái)的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度)。
溶解的有機(jī)物:有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹(shù)脂之前,因活性炭本身會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)。需要注意,進(jìn)入樹(shù)脂床的水要先除去有機(jī)物,因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物,分子量小于300的有機(jī)物可除去百分之九十。
粒子物質(zhì):很多地方都容易產(chǎn)生,如炭床、樹(shù)脂床、深層過(guò)濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率,但沒(méi)有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。
除去粒子物質(zhì),只有用膜濾,一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0。45微米的微孔濾膜,特殊需要用孔徑為0。22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透設(shè)備也能除去小粒子。